滅菌特種氣體可殺滅細菌（及其內孢子）、霉菌及真菌，因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。特種氣體的儲存注意事項：儲存高壓氣體≥300m，液化氣≥3000kgs時，儲存場所需要經過縣級以上相關單位批準。高壓容器儲存場所出入口及顯眼處，需設有安全警示牌。特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標準氣體三大類，電子特種氣體（簡稱電子特氣）是特種氣體的 一個重要分支，是超大規模集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、LED、OLED）、太陽能電池等電子工業生產不 可或缺的原材料。
特種氣體在太陽能電池中的應用：晶體硅電池片生產中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；特種氣體的儲存注意事項：儲存場地的道路，應占整個場地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區分存放。充填容器入庫前需檢漏，長期存放的充填高壓容器需要每月復檢一次，并做記錄。特種氣體分類：電子氣體是指用于半 導體及其它電子產品生產的氣體，目前，我國電子氣體品種基本齊全，但數量和質量與 發達國家相比，尚有較大差距；
我國特種氣體行業在 2006 年后進入快速發展階段，廣泛應用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環保和新興產業領域，特種標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體，是一種高度均勻，穩定性良好和量值準確的氣體，它可以是單一的純氣體或高純氣體，也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質之一，故又稱為氣體標準物質。電子特種氣體是集成電路、平板顯示、發光二極管、太陽能電池等半導體行業生產制造過程中不可或缺的關鍵性化工材料，被廣泛的應用 于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。
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